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Savegnago, Agnese Virginia (2011) New organic-inorganic sol-gel resists for micro and nanoimprinting. [Magistrali biennali]

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Abstract

In this study new hybrid organic-inorganic TiO2 sol-gel materials with high TiO2 content (more than 50% respect silicon dioxide (SiO2) content) are synthesized, characterized and micro-/nano-patterned using thermal nanoimprint lithography.

Item Type:Magistrali biennali
Uncontrolled Keywords:nanoimprint lithography, titanium dioxide
Subjects:Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/22 Scienza e tecnologia dei materiali
Codice ID:28969
Relatore:Brusatin, Giovanna
Data della tesi:22 March 2011
Biblioteca:Polo di Ingegneria > Biblioteca Centrale di Ingegneria
Tipo di fruizione per il documento:on-line per i full-text
Tesi sperimentale (Si) o compilativa (No)?:Yes

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