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Furlanetto, Mattia (2013) Realizzazione di film sottile di materiale piezoelettrico e misure preliminari. [Magistrali biennali]

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Abstract

L'oggetto di questo lavoro di tesi è la realizzazione di un film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering e la successiva esecuzione di misure elettriche preliminari. Tali misure consistono in una prima verifica del fenomeno della piezoelettricità nel materiale depositato, del suo andamento e della sua entità. Il lavoro di realizzazione è corredato da una descrizione dei vari passaggi seguiti

Tipologia del documento:Magistrali biennali
Parole chiave:nitruro, alluminio, magnetron, sputtering, film, piezoelettricità
Settori scientifico-disciplinari del MIUR:Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/31 Elettrotecnica
Codice ID:43874
Relatore:Desideri, Daniele
Data della tesi:12 Luglio 2013
Biblioteca:Polo di Ingegneria > Biblioteca Centrale di Ingegneria
Tipo di fruizione per il documento:on-line per i full-text
Tesi sperimentale (Si) o compilativa (No)?:

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