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Grigoletto, Silvia (2014) Synthesis and characterization of titanium carbon nitride films by High Power Impulse Magnetron Sputtering. [Magistrali biennali]

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Abstract

The aim of this study is to investigate the potentiality of an HiPIMS reactive process with two gases, evaluating the process control and the properties of the deposited coatings compared to DCMagnetron Sputtering. TiCN(H) nano-composite films have been deposited in a CFUBMS apparatus and HiPIMS generator. Coatings have been characterized from compositional, microstructural as well as mechanical and tribological point of view

Tipologia del documento:Magistrali biennali
Parole chiave:HiPMS, reactive sputtering, TiCN, nanocomposite, protective coatings
Settori scientifico-disciplinari del MIUR:Area 02 - Scienze fisiche > FIS/01 Fisica sperimentale
Codice ID:45502
Relatore:Bazzan, Marco
Data della tesi:Aprile 2014
Biblioteca:Polo di Scienze > Dip. Fisica e Astronomia "Galileo Galilei" - Biblioteca
Tipo di fruizione per il documento:on-line per i full-text
Tesi sperimentale (Si) o compilativa (No)?:Sì

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