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Dal Santo, Roberto (2015) Realizzazione di film sottili in nitruro di alluminio. [Magistrali biennali]

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Abstract

Realizzazione di sei depositi di film sottile di materiale piezoelettrico, il nitruro di alluminio, con la tecnica del magnetron sputtering, al variare della pressione e della miscela di gas (azoto e argon) immessa nella camera di sputtering

Item Type:Magistrali biennali
Uncontrolled Keywords:film sottile
Subjects:Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/31 Elettrotecnica
Codice ID:48820
Relatore:Desideri, Daniele
Data della tesi:23 April 2015
Biblioteca:Polo di Ingegneria > Biblioteca Centrale di Ingegneria
Tipo di fruizione per il documento:on-line per i full-text
Tesi sperimentale (Si) o compilativa (No)?:Yes

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