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Gava, Michele (2018) Realizzazione e prove di un convertitore piezoelettrico basato su AlN in configurazione a trave a sbalzo. [Magistrali biennali]

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Abstract

Il lavoro di questa tesi riguarda la realizzazione e le prove di un convertitore piezoelettrico per energy harvesting con film in nitruro di alluminio. La deposizione del film in nitruro di alluminio è stata realizzata presso il laboratorio di materiali micro-nanostrutturati dell'Università  di Padova tramite un processo di magnetron sputtering reattivo. Sul montaggio della configurazione sono state fatte delle prove in modo da avere un sistema funzionante in modo affidabile.

Tipologia del documento:Magistrali biennali
Parole chiave:piezoelettricità, cantilever, Magnetron, sputtering, AlN, nitruro, alluminio
Settori scientifico-disciplinari del MIUR:Area 09 - Ingegneria industriale e dell'informazione > ING-IND/31 Elettrotecnica
Codice ID:59310
Relatore:Desideri, Daniele
Data della tesi:06 Marzo 2018
Biblioteca:Polo di Ingegneria > Biblioteca Centrale di Ingegneria
Tipo di fruizione per il documento:on-line per i full-text
Tesi sperimentale (Si) o compilativa (No)?:

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